Bronkhorst High-Tech BV

Medidores de caudal másico de gas con cierre metálico

Caudalímetros másicos Bronkhorst® modelo F-111CM (MFM) diseñados especialmente para satisfacer los requisitos del mercado de semiconductores, así como otras aplicaciones de gases de alta pureza. Los instrumentos presentan una alta calidad superficial y son de construcción modular con juntas metal-metal que garantizan la estanqueidad a largo plazo. El F-111CM es adecuado para la medición precisa de rangos de caudal entre 0,12...6 sccm hasta 1...50 slm (basado en N2) a presiones de funcionamiento entre vacío y 1500 psig (100 bar).

La serie EL-FLOW® Metal Sealed está equipada con una placa de circuito impreso digital que ofrece una gran precisión, una excelente estabilidad térmica y una respuesta rápida. La placa de circuito impreso digital principal contiene todas las funciones generales necesarias para la medición y el control. Además de la salida RS232 estándar, los instrumentos también ofrecen E/S analógicas. Como opción, puede montarse una interfaz a bordo para proporcionar protocolos CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII o TCP/IP, EtherNet/IP o FLOW-BUS. El diseño EL-FLOW® Metal Sealed cuenta con la funcionalidad opcional Multi Gas / Multi Range, proporcionando a los clientes (OEM-) una óptima flexibilidad y eficiencia de proceso.