Bronkhorst High-Tech BV

Medidores de flujo másico de gas con sello metálico

Los medidores de flujo másico Bronkhorst® modelo F-111CM (MFM) están diseñados especialmente para satisfacer los requisitos del mercado de semiconductores, así como otras aplicaciones de gas de alta pureza. Los instrumentos se caracterizan por su alta calidad superficial y su construcción modular con juntas metal-metal que garantizan la estanqueidad a largo plazo. El F-111CM es adecuado para la medición precisa de rangos de flujo entre 0,12...6 sccm hasta 1...50 slm (basado en N2) a presiones de funcionamiento entre el vacío y 1500 psig (100 bar).

La serie EL-FLOW® Metal Sealed está equipada con una placa de circuito impreso digital que ofrece una gran precisión, una excelente estabilidad de temperatura y una rápida respuesta. La placa digital principal contiene todas las funciones generales necesarias para la medición y el control. Además de la salida estándar RS232, los instrumentos también ofrecen E/S analógicas. Como opción, puede montarse una interfaz a bordo para proporcionar protocolos CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII o TCP/IP, EtherNet/IP o FLOW-BUS. El diseño EL-FLOW® Metal Sealed cuenta con la funcionalidad opcional Multi Gas / Multi Range, proporcionando a los clientes (OEM-) una óptima flexibilidad y eficiencia del proceso.