Aurion Anlagentechnik GmbH
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- DIN EN ISO 9001:2015
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01.10.2025 10:40
Sistemas en racimo y en línea
Sistemas Cluster
AURION ofrece sistemas multicámara con manipulación de sustratos al vacío adaptados a sus necesidades. Las configuraciones disponibles incluyen cámaras de bloqueo de carga, cámaras de transferencia y módulos de proceso para procesos de sputter y RIE.
Sistemas en línea
AURION ofrece sistemas en línea (pass-by) con transporte de sustratos al vacío adaptados a sus necesidades. Las configuraciones disponibles incluyen cámaras de bloqueo de carga, cámaras de pretratamiento y cámaras de sputter. Hay disponibles configuraciones verticales y horizontales.
Categoría
Ofertas
Estado
Alemania