El concepto KIVOS

KIVOS es un concepto modular muy flexible para sistemas de plasma. Estos sistemas pueden utilizarse en una amplia gama de aplicaciones, como la limpieza fina y la activación de superficies, el grabado iónico reactivo (RIE) y el recubrimiento (PECVD, PVD). Este concepto permite a AURION fabricar productos altamente desarrollados a precios favorables. Nuestros clientes se benefician de esta ventaja de precio. Otra ventaja es que un solo sistema puede utilizarse para aplicaciones muy diferentes.

La idea básica de este concepto es que el mayor número posible de componentes de un sistema sean fácilmente intercambiables. Es decir, tanto intercambiables entre sí como sustituibles por nuevos componentes, por ejemplo para una nueva aplicación.

Como muestra el esquema siguiente, el elemento básico de la cámara de proceso es un armazón de acero inoxidable en forma de cubo. A este bastidor se fijan seis placas metálicas (módulos) que cumplen distintas funciones. Los módulos son de acero inoxidable o aluminio, según la aplicación.

Debido a las dimensiones idénticas de todos los módulos (¡¡¡forma cúbica!!!) es posible intercambiarlos entre sí o con otros componentes sin gran esfuerzo. Esto significa que no es necesario adquirir una cámara de proceso completamente nueva para una aplicación ligeramente distinta, que puede requerir únicamente dos bridas nuevas o una puerta de cámara diferente. En algunos casos, basta incluso con sustituir dos o tres módulos entre sí.