Aurion Anlagentechnik GmbH
Aurion Anlagentechnik GmbH
Sistemas de plasma en racimo de Aurion Anlagentechnik GmbH
AURION ofrece sistemas multicámara personalizados con manipulación de sustratos al vacío. Las configuraciones disponibles incluyen cámaras de cierre, cámaras de transferencia y módulos de proceso para procesos de sputter y RIE.