Aurion Anlagentechnik GmbH

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Instalaciones de vacío de Aurion Anlagentechnik GmbH

El plasma se utiliza para gestionar muchas tareas en el tratamiento de superficies, es decir, revestimiento, activación de polímeros, grabado de componentes microelectrónicos y limpieza. Para la limpieza de las superficies se utilizan actualmente diferentes métodos de generación de plasma: Radiofrecuencias (40 kHz y 13,56 MHz) y microondas. Las mezclas típicas de gases contienen oxígeno, argón y a veces hidrógeno y tetrafluoruro de carbono.