Aurion Anlagentechnik GmbH

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Dispositivos de tratamientos de superficies de Aurion Anlagentechnik GmbH

El plasma se utiliza para gestionar muchas tareas en el tratamiento de superficies, es decir, revestimiento, activación de polímeros, grabado de componentes microelectrónicos y limpieza. Para la limpieza de las superficies se utilizan actualmente diferentes métodos de generación de plasma: Radiofrecuencias (40 kHz y 13,56 MHz) y microondas. Las mezclas típicas de gases contienen oxígeno, argón y a veces hidrógeno y tetrafluoruro de carbono.